ওয়েফারের জন্য প্রিসিশন আইআর সেন্সর

Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800

কেন আমরা লিড-ফ্রি চিপগুলোর জন্য IR কিউরিং পদ্ধতি ব্যবহার করছি?
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পটি অবশেষে পুরানো ধরনের কনভেকশন ওভেনগুলো থেকে দূরে সরে যাচ্ছে। আমরা বেশিরভাগই IR কিউরিং পদ্ধতি ব্যবহার করছি। এর কারণ শুধুমাত্র “ইকো-ফ্রেন্ডলি” বা লিড-ফ্রি নিয়মগুলো মেনে চলার জন্যই নয়… যদিও এটাও গুরুত্বপূর্ণ কারণ। আসল কারণ হলো তাপ কীভাবে কাজ করে।
কনভেকশন ওভেনে ঘরের চারপাশে গরম বাতাস পাঠানো হয়; কিন্তু IR-এ ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহৃত হয়। এটা বাতাসকে ব্যবহার করে না; বরং সরাসরি লক্ষ্যবস্তুটিকে আঘাত করে।
শক্তি ব্যবহারের দিকটি
কনভেকশন ওভেনে পুরো চেম্বার, বাতাস, দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করতে হয়… এটা অপচয়। কিন্তু IR-এ আমরা এটাকে নিয়ন্ত্রণ করতে পারি; যাতে শুধুমাত্র ফোটোরেসিস্ট বা ওয়েফারটির নির্দিষ্ট অংশগুলোই উত্তপ্ত হয়।
এটা খুবই দক্ষ পদ্ধতি। ২৪/৭ ধরে উচ্চ তাপমাত্রা বজায় রাখার জন্য কোনো বিশাল হিটিং এলিমেন্টের দরকার নেই। ফলে উত্পাদন প্রক্রিয়া দ্রুত হয়; ফলে বিদ্যুৎ খরচও কমে যায়।
সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ
এখানেই সমস্যা রয়েছে। লিড-ফ্রি সোল্ডার ও রেসিস্টগুলোর জন্য তাপমাত্রা খুবই সূক্ষ্মভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হয়। যদি তাপমাত্রা একটুও বেশি হয়ে যায়, তাহলে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এটা খুবই বড় সমস্যা।
IR-এ আমরা সেন্সর ব্যবহার করি; যা ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা সময়ের সাথে সাথে পর্যবেক্ষণ করে। তাপমাত্রা পরিবর্তিত হওয়ার সাথে সাথেই সেন্সরগুলো পাওয়ার কন্ট্রোলারকে নির্দেশ দেয় যেন ল্যাম্পগুলোর তীব্রতা কমানো হয়। এখানে কোনো “থার্মাল ল্যাগ” নেই… যেমনটা এয়ার ওভেনে থাকে। এটা খুবই কার্যকর নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি।
ফ্লোর পরিষ্কার রাখা
এছাড়াও, এই পদ্ধতিতে ফ্যাক্টরিটি অনেক পরিষ্কার থাকে। উচ্চ তাপমাত্রার এয়ার সিস্টেমে ব্যবহৃত বিশাল ভেন্টিলেশন ডাক্ট ও VOC স্ক্রাবারগুলোর দরকার নেই। এই সিস্টেমটি অনেক কম জায়গা দখল করে।
কিন্তু, এটা সম্পূর্ণ আশ্চর্যজনক নয়। ল্যাম্পগুলোর অবস্থান ও ওয়েফারের দূরত্ব ঠিকমতো না থাকলে ওয়েফারের কিনারাগুলো দ্রুত উত্তপ্ত হয়ে যেতে পারে। তাই ল্যাম্পগুলোর অবস্থান ও দূরত্ব ঠিকমতো নিয়ন্ত্রণ করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।

উচ্চ নির্ভুলতাসম্পন্ন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণকারী হিটার

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ৯০°C তাপমাত্রায় ওয়েফারগুলোকে গরম করাটা শুধুমাত্র প্যানেলের একটি সেটিং নয়। এটা হলো ফটোরেজিস্টের আকৃতি বজায় রাখার জন্য প্রয়োজনীয় শর্ত; অন্যথায় ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যাবে।
চাকের তাপমাত্রায় ০.৫°C এর পরিবর্তনই যথেষ্ট যাতে CD-এর সমানতা নষ্ট হয় এবং লাইন-ওয়াইডথ নিয়ন্ত্রণ ভেঙে যায়। এই প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা কেবলমাত্র তাপ নয়—এটা একটি প্রক্রিয়াগত চলক; এটাকে নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে রাখা অপরিহার্য।
আমরা উচ্চ-নির্ভুলতার হিটার ব্যবহার করি; এগুলো ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখে। এছাড়া, হিটারগুলো ক্লাস ১ থেকে ১০০ ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে তাপমাত্রার পরিবর্তন থেকে কোনো সমস্যা না হয়।
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান ব্যবহার করি; এগুলো দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়। ফলে হিটিং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে। হট জোনটি আলাদা থাকে; এতে চেম্বারটি গ্যাস ও দূষণ থেকে রক্ষা পায়।
উৎপাদনের সময় এই নির্ভুলতার ফলে কম ত্রুটি হয়, কম নষ্ট ওয়েফার হয়। সাইকেল টাইমগুলো নির্ভুলভাবে কাজ করে। সফ্ট বেক, হার্ড বেক এবং পোস্ট-বেক প্রক্রিয়াগুলো স্থিতিশীল থাকে; ফলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয় না। এর ফলে আরও বেশি উৎপাদন হয় এবং পুনর্কাজের পরিমাণ কমে যায়।
শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ হিটিং প্রক্রিয়াটি অত্যন্ত দক্ষ। প্ল্যাটফর্মটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধের সময় প্রায় শূন্য থাকে।
কিছু ব্যবহারিক তথ্য:
এই হিটারগুলো ভালোভাবে কাজ করে; কিন্তু নির্দিষ্ট সমানতা অর্জনের জন্য স্থিতিশীল পাওয়ার সাপ্লাই ও উপযুক্ত থার্মাল মাস থাকা প্রয়োজন। PID সেটিংগুলো ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা উচিত। এছাড়া, ইএমআই থেকে সুরক্ষা পেতে গ্রাউন্ডিং ও শিল্ডিং ঠিক রাখা প্রয়োজন।
যখন সবকিছু ঠিকভাবে সামঞ্জস্য হয়, তখন প্রক্রিয়াটি নির্দিষ্ট মানে চলে—তাপমাত্রার কারণে কোনো সমস্যা হয় না।

নির্ভুলতা on Infrared Heat Limited

ওয়েফারের জন্য প্রিসিশন আইআর সেন্সর

উচ্চ নির্ভুলতাসম্পন্ন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণকারী হিটার