http://ir-heat-ltd.com/cs/tags/device/ Recent content in Device on Infrared Heat Limited Hugo cs Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/cs/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/cs/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Lampa na výrobu mikrofluidních zařízení"></p> <p>Na povrchu waferu nezanechávají mikrofluidní kanálky prostor pro odchylky v profilu fotorezistu. I malá odchylka při zahřívání způsobuje změny v šířce linií. Při nadměrném zahřívání vznikají rezidua, která později mohou ucpat mikrokanálky. Potř<a href="https://henruite.com">ebujete</a> tedy lampu, která bude s ohledem na tepelné parametry jednat jako skutečný procesní parametr, a ne jen jako odhad.</p> <p>Zde jsou podstatné aspekty:</p> <p>Tyto lampy na výrobu mikrostruktur jsme navrhli s využitím SWIR halogenových zdrojů světla v křemičitanovém obalu. Výsledkem je rychlá <a href="https://o-yate.net">odezva</a> a stabilní spektrální výstup den za dnem. Rozměrová jednotnost na úrovni waferu zůstává na úrovni ±0,1 °C v celé zóně zahřívání, takže kontrola kritických rozměrů je možná v každém cyklu. Systém je určen k použití v čistých prostorách třídy 1–100 bez jakékoli tvorby částic, s možností kontroly v reálném čase. Řízení v uzavřené smyčce využívá kalibrované termočlánky a umožňuje použití opakovatelných postupů pro jakékoli typy zahřívání.</p>