http://ir-heat-ltd.com/cs/tags/fotorezistent/ Recent content in Fotorezistent on Infrared Heat Limited Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 04:39:42 +0800 http://ir-heat-ltd.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:39:42 +0800 http://ir-heat-ltd.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lampa na vypalování fotorezistu"></p> <p>V procesu litografie je tepelný profil při zpracování fotorezistu jednou z těch věcí, s nimiž prostě nelze jednat. Pokud <a href="https://henruite.com">dojde</a> k odchylkám během měkkého vypalování, dochází k nekontrolovanému odpařování <a href="https://o-yate.com">rozpou</a>štědel. Při silném vypalování vznikají „horká místa“, což způsobuje deformaci kritických rozměrů. To ovlivňuje jak výtěžnost, tak i dobu vypalování. Naše lampy na vypalování fotorezistu jsou navrženy tak, aby tento tepelný profil zůstal konstantní – od měkkého až po silné vypalování – na celé ploše čipu.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř</strong> Kombinujeme halogenové nebo NIR <a href="https://goldisgood.com">zdroje</a> světla s křemíkovou optikou a řízením v uzavřené smyčce, abychom dosáhli rovnoměrnosti na úrovni čipu v rozsahu ±0,1 °C. Výsledkem jsou opakovatelné profily vypalování, které udržují tloušťku fotorezistu a kritické rozměry konstantní v každé várce. Kompatibilita s prostředím třídy 1–100 je součástí návrhu: materiály s nízkou emisí plynů a kontrolovaný tok vzduchu zabránily kontaminaci procesu.</p>