Prvek on Infrared Heat Limited

Element infrazářivého topení v krytce rukavice

Sun, 19 Jul 2026 15:11:27 +0800

Proč infracervené vytvrzování skutečně funguje v průmyslu polovodičů

Když pracujete v továrně na výrobu polovodičů, hrozby jsou velké. Potřebujete, aby vaše procesy sušení a vytvrzování probíhaly bezchybně – bez jakýchkoli zbytků, s minimálním uhlíkovým otiskem.

Starý způsob? Konvekční trouby. Ale buďme upřímní: zahřívání veškerého vzduchu je plýtváním energií. Ještě horší je, že to představuje riziko pro čistotu vaší čisté místnosti.

Proto používáme v našich rukavicových boxech infračervené vyhřívání. Místo zahřívání vzduchu využívá infračervené záření k přímému působení na substrát. To znamená, že plyn v okolí neovlivňuje proces.

Náhradní topné těleso IP65

Fri, 10 Jul 2026 13:01:18 +0800

Proč přecházíme na infračervené články s certifikací IP65

Uvážili jste někdy, proč ty staré topné lampy v koupelně vždycky selžou právě ve chvíli, kdy je potřebujete? Obvykle je to proto, že nejsou navrženy tak, aby odolaly páře. Koupelny jsou pro elektroniku opravdu drsné prostředí.

Proto přecházíme na infračervené články s certifikací IP65. Nejde o to, aby vypadaly luxusně – jde o to, zabránit proniknutí vody dovnitř a udržet elektřinu tam, kam patří.

Co znamená certifikace IP65?

Pokud na krabici vidíte „IP65“, znamená to v podstatě, že daný produkt je odolný vůči prachu a dokáže odolat stříkající vodě ze všech směrů.

Topné těleso polovodičové trouby

Tue, 02 Jun 2026 05:52:25 +0800

Na výrobní lince není pečení fotorezistu jen „krok ohřevu“. Je to kontrola rozměrů, a to jasně a jednoduše.
Posuňte soft bake nebo hard bake o pouhé 2 °C a jste mimo cíl CD. Linka se zastaví. Proto jsme navrhli topné těleso pece tak, aby udržovalo procesní teplotu s disciplínou, kterou fab skutečně vyžaduje.

Co je technicky důležité
Používáme krátkovlnné IR v křemenné obálce, protože reaguje rychle a zajišťuje čistý přenos tepla. Napříč zátěží waferu je uniformita ±0,1 °C a opakovatelnost mezi běhy zůstává ve stejném rozmezí.
Konstrukce je kompatibilní s čistými prostory třídy 1–100. Minimalizujeme outgassing a během pečení držíme nulovou produkci částic. Dodávka energie je stabilní, takže profily ramp-up a soak jsou přesné – což udržuje tepelný rozpočet uvnitř lithografického okna.