Umgang mit der Wärmeabstrahlung in Halbleitergeräten
Wenn Sie schon einmal Hochleistungs-IR-Strahler in Halbleiterwerkzeugen eingesetzt haben, kennen Sie die Probleme, die damit verbunden sind. Man muss ständig gegen die überschüssige Wärme kämpfen. Ohne eine Möglichkeit, diese Wärme einzudämmen, strahlt sie überallhin – direkt auf die Wände des Geräts. Das ist Chaos. Man verschwendet nicht nur Energie, sondern das Gehäuse wird so heiß, dass es den Bediener verletzen oder die internen Komponenten beschädigen kann.
Deshalb verwenden wir keramische Endkappen. Dadurch wird die Wärme in die richtige Richtung gelenkt.
Die Wärme in eine Richtung lenken
Standardquarztuben strahlen die Wärme in alle Richtungen ab – also in 360 Grad. Bei Geräten mit begrenztem Platzangebot ist das ein echtes Problem. Durch den Einsatz von hochreinen keramischen Endkappen schaffen wir eine Barriere gegen diesen axialen Wärmeverlust. Die Keramik fungiert dabei als Barriere. Anstatt dass die Energie in den Lampenhalter oder das Gerätegehäuse gelangt, wird sie nach vorne geleitet – direkt auf das zu beherrschende Substrat.
Materialien – wichtige Details
Wir verwenden Keramiken auf Basis von Aluminiumoxid. Warum? Weil sie starken thermischen Belastungen standhalten können, ohne zu zerbrechen. Man darf hier keine Kompromisse eingehen. Billige Kunststoffe oder minderwertige Verbundmateriale schmelzen oder brennen sofort, sobald die Lampe vollständig aktiviert wird. Das ist einfach kein Vergleich. Doch der Abstand zwischen den Endkappen muss genau richtig sein. Es handelt sich dabei um ein feines Gleichgewicht. Wenn der Abstand zu groß ist, „läuft“ die Wärme heraus – und es entstehen gefährlich hohe Temperaturen an den Verbindungen. Wenn der Abstand wiederum zu klein ist, könnte die Quarztube durch die Erwärmung brechen. Wir investieren viel Zeit in die Justierung dieses Abstands, damit die Endkappen während des Einschaltens und Ausschaltens der Lampe fest sitzen bleiben.
In die Praxis umsetzen
Durch den Einsatz dieser Endkappen verwandelt sich ein einfacher Heizer in ein präzises Werkzeug. Dadurch entsteht ein viel geordneteres Wärmeprofil, und die Außenwände des Geräts bleiben bei einer Temperatur, die für die Bediener unbedenklich ist.
Eine wichtige Hinweis: Da die Enden der Quarztube blockiert werden, wird ihr Kern ebenfalls heißer. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung dieser erhöhten Leistung standhält. Andernfalls könnte der Glühfaden zerstört werden, weil die Stromversorgung nicht für diese Erhöhung ausgelegt ist.