Warum wir goldbeschichtete Reflektoren für die Infrarot-Trocknung verwenden
In den Wafer-Fabriken bedeutet Energieverschwendung im Grunde genommen nur Geldverschwendung. Wenn man einen digitalen Infrarot-Trockner verwendet, geht es nicht nur darum, die Temperatur zu erhöhen. Vielmehr soll sichergestellt werden, dass die Wärme tatsächlich auf dem Wafer ankommt – und nicht in das Gehäuse des Geräts eindringt.
Daher kommen goldbeschichtete Reflektoren ins Spiel.
Die Logik dahinter ist ganz einfach:
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium-Reflektoren – doch diese nehmen viel zu viel Infrarot-Energie auf. Gold hingegen reflektiert das Infrarotlicht wie ein Spiegel und leitet die Wärme direkt zurück zum Zielobjekt. Dadurch wird mehr Wärme auf dem Wafer erzeugt – ohne dass die Leistung des Geräts erhöht werden muss. Das ist effizient.
Außerdem spielt auch die Präzision eine Rolle. Man kann zwar den modernsten digitalen Controller verwenden, um die Leistung genau einzustellen – doch wenn die Beschichtung ungenügend ist, wird die Wärmeverteilung ungleichmäßig sein. Goldbeschichtete Reflektoren helfen dabei, solche „kalten Stellen“ zu beseitigen. So entsteht ein gleichmäßiges Wärmeprofil auf der gesamten Oberfläche des Wafers. Ohne diese Präzision kommt es zu ungleichmäßiger Trocknung – oder sogar zu thermischer Verformung des Wafers.
Aber es handelt sich dabei nicht um Magie.
Gold ist zwar hervorragend – doch es erfordert viel Pflege. Es verträgt keine Verschmutzung. Wenn in der Vakuumkammer organische Stoffe oder chemische Rückstände vorhanden sind, beginnt die Goldschicht zu zerfallen. Man muss daher sehr sorgfältig mit den Reinigungsvorgängen umgehen, um die Reflexionsfähigkeit des Goldes zu erhalten.
Noch etwas: Wenn man diese Reflektoren mit einem präzisen Controller kombiniert, verkürzt sich die Aufwärmzeit erheblich. Man verbraucht weniger Energie pro Zyklus – was natürlich vorteilhaft ist.
Achtet jedoch auf die Kühlventilatoren: Da so viel hohe Intensität an Strahlung abgegeben wird, kann das Umfeld des Geräts sehr heiß werden. Wenn die Luft nicht richtig zirkuliert, können die Sensoren beschädigt werden.