Hören Sie auf, Energie bei der Verarbeitung von Siliziumwafeln zu verschwenden!
Bei der Erwärmung von Siliziumwafeln spielt jeder Watt eine wichtige Rolle. Doch das Problem ist: Herkömmliche Quarzlampen sind undicht – sie lassen viel Energie an den Rückseite und Seiten entweichen, ohne dass diese Energie für den Prozess genutzt werden kann.
Deshalb verwenden wir Lampen mit goldbeschichteten Rohren. Durch die Beschichtung mit reinem Gold wird die Lampe zu einer Art „Strahler“ für Wärme.
Warum Gold?
Es geht dabei um das Verhalten des Infrarotstrahlung. Gold reflektiert Infrarotstrahlen viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. Man kann die Beschichtung wie einen Spiegel betrachten – anstatt dass die Wärme in alle Richtungen streut, wird sie nach vorn gelenkt. Dadurch entsteht ein konzentrierter Strahl, der die Oberfläche der Wafer trifft. Der Vorteil: Man erhält einen viel stärkeren Wärmefluss, ohne mehr Energie aus dem Stromnetz beziehen zu müssen. Es handelt sich dabei um eine effektivere Nutzung der bereits bezahlten Energie.
Die Nachteile – und wie man damit umgeht
Doppelrohr-Lampen sind großartig, weil sie mehr Leistung in einem kleineren Raum unterbringen können. Dadurch entsteht eine größere Oberfläche für die Strahlung – was eine große Verbesserung hinsichtlich der Effizienz bedeutet.
Aber es gibt einen Trade-off: All diese Leistung erzeugt auch viel Wärme an den Enden der Lampen. Wenn Ihr Kühlsystem nicht ausreicht, können die Anschlüsse beschädigt werden. Prüfen Sie unbedingt die Luftstromgeschwindigkeit, bevor Sie die Lampen auf ihre maximale Leistung bringen. Das ist eine einfache Überprüfung, die Ihnen vor Fehlern schützt.
Wie man sie einsetzt
Diese Lampen eignen sich ideal, wenn Sie eine schnelle Erhitzung sowie eine perfekt gleichmäßige Temperatur auf der Waferoberfläche benötigen. Da die goldbeschichtete Oberfläche die Energie sehr gut bündelt, kann man die Lampe näher an das Ziel bringen – dadurch lässt sich eine kompaktere Anlage konstruieren.
Sie passen problemlos in Ihre vorhandene Anlage – aber bedenken Sie, dass sich das thermische Verhalten ändern wird. Da mehr Energie auf die Wafer trifft, müssen Sie vermutlich Ihre PID-Controller anpassen, damit alles richtig funktioniert.