Hören Sie auf, die Wände der Geräte zu heizen – und heizen Sie stattdessen die Wafer.
Haben Sie schon einmal die Oberfläche eines Herstellungsgeräts berührt und dabei die abgestrahlte Wärme gespürt? Das ist ärgerlich, stellt außerdem ein Sicherheitsrisiko dar – und ist im Grunde genommen eine Verschwendung.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente geben ihre Wärme überallhin ab. Dadurch werden die Innenwände der Geräte zu riesigen Wärmeableitern. Im Grunde bezahlen Sie also dafür, dass das Chassis des Geräts erhitzt wird – anstatt diejenigen Teile zu erwärmen, die wirklich wichtig sind.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf direktional arbeitende IR-Lampen umgestiegen sind.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich vor, es handelt sich um eine Taschenlampe statt einer Glühbirne. Anstelle eines Lichts, das den ganzen Raum ausleuchtet, nutzen diese Lampen Reflektoren, um einen gezielten Wärmestrahl direkt auf das Wafer oder Substrat zu richten. Die Wärme trifft auf das Ziel und bleibt dort. So erhalten Sie genau die gewünschte Temperatur dort, wo sie benötigt wird – während der Rest des Geräts weiterhin kühl bleibt. Keine Warnungen mehr wegen „gefährlicher heißer Oberflächen“.
Die schwierige Seite (die technischen Aspekte)
Man kann nicht einfach ein herkömmliches Heizelement durch eine IR-Lampe ersetzen. Es ist nicht so einfach. Da IR-Strahlen sehr gezielt sind, kommt eine große Menge an Energie an einem kleinen Punkt an. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann das Substrat überhitzt werden. Außerdem muss man auch die PID-Steuergeräte berücksichtigen. IR-Strahlen reagieren sehr schnell – wirklich sehr schnell. Wenn die Steuergeräte nicht für diese Geschwindigkeit ausgelegt sind, wird die gewünschte Temperatur erreicht, bevor das System überhaupt merkt, was passiert ist.
Ein saubereres Reinraumumfeld
Das Beste daran: Ihr HVAC-System wird es Ihnen danken. Wenn Sie keine unnötige Wärme mehr in die Luft abgeben, verringert sich die Kühllast im Reinraum. Zudem können Sie auf those sperrigen Isolierdecken sowie laute Kühlventilatoren verzichten. Keine Vibrationen mehr, keine Sorgen wegen Partikeln, die von den Ventilatoren aufgewirbelt werden. Es entsteht einfach ein saubereres und kompakteres System.
Ein kleiner Tipp: Halten Sie die Reflektoren stets sauber. Ein wenig Staub auf diesen Spiegeln verringert die Effizienz und lässt die Wärme wieder in das Gehäuse zurückwandern. Halten Sie sie sauber – dann bleibt alles kühl.