http://ir-heat-ltd.com/de/tags/canon/ Recent content in Canon on Infrared Heat Limited Hugo de Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/de/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/de/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Heizglühbirne für Canon Lithografie"></p> <p>In der Fertigungsstätte ist das „Sanfte Erhitzen“ keine Art von Vorwärmung – es handelt sich dabei vielmehr um eine Grenzbedingung für die Kontrolle der Linienbreite. Wenn die Temperatur um 0,5 °C verschoben wird, ändert sich auch das Dosisfenster. Ein Hotspot auf der Platte kann zu Defekten führen, die beim Ätzen erhalten bleiben. Die Heizelemente in den Canon-Lithografiesystemen sind so konstruiert, dass sie diese thermischen Grenzwerte über mehrere Chargen hinweg stabil halten.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellenhalogenelemente in einer Quarzkapsel. Dadurch entsteht eine schnelle Reaktion, geringe thermische Trägheit sowie eine stabile Leistung. Auf der Erhitzungsplatte liegt die Homogenität auf einem Niveau von ±0,1 °C – somit erreicht jeder Bereich des Photoresists die erforderliche Temperatur. Diese Heizelemente sind für Standard-Canon-Lithografiesysteme vorgesehen und können direkt in die vorhandenen Lampengehäuse eingebaut werden, ohne dass die gesamte Wärmanagement-Struktur angepasst werden muss.</p>