Herstellungsgerät für mikrofluidische Geräte

Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800

Auf der Wafltoberfläche lassen die mikrofluidischen Kanäle keinen Spielraum für Veränderungen im Profil des Photoresists zu. Selbst geringfügige Temperaturveränderungen führen dazu, dass die Breite der Linien sich ändert. Bei einer zu hohen Temperatur entstehen Rückstände, die später die Mikrokanäle verstopfen können. Man benötigt daher eine Lampe, die das thermische Verhalten als echten Prozessparameter betrachtet – und nicht nur als Schätzung.

Wir haben diese Mikrofluidik-Verarbeitungslampen um SWIR-Halogenemitter in einer Quarzkapsel konstruiert. Der Vorteil ist eine schnelle Reaktion sowie eine stabile Spektralausgabe – Tag für Tag. Die Homogenität auf Waflenebene bleibt bei ±0,1 °C innerhalb der Verarbeitungszone erhalten. Dadurch kann die Kontrolle der kritischen Dimensionen von Lauf zu Lauf wiederholt werden. Das System ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet – ohne jegliche Partikelbildung. Zudem gibt es eine integrierte Überwachungsfunktion. Die Schließkreiskontrolle erfolgt mithilfe kalibrierter Thermoelemente. Dadurch erhält man eine reproduzierbare Verfahrensbeschreibung für beide Verarbeitungsschritte.

Gerät on Infrared Heat Limited

Herstellungsgerät für mikrofluidische Geräte