Heizer für die Fabrikfertigungswerkstatt

Thu, 02 Jul 2026 08:07:32 +0800

In den Fertigungsanlagen ist man mit solchen Situationen vertraut: Selbst eine Abweichung der Temperatur um 0,2 °C kann dazu führen, dass die Linienbreite der zu druckenden Strukturen unkontrollierbar wird. In den 24/7 betriebenen Montagehallen ist eine gleichmäßige Temperatur nicht nur wünschenswert – sie ist vielmehr entscheidend für die Qualität der Produkte.

Was wir bei der Konstruktion berücksichtigen
Wir entwickeln Heizsysteme für die Fertigungs- und Montageprozesse unter Berücksichtigung von drei wichtigsten Kriterien: Gleichmäßigkeit, Sauberkeit und Wiederholgenauigkeit. In der beheizten Zone halten wir eine Temperaturstabilität von ±0,1 °C aufrecht – dadurch erhält jede Wafer sowie jeder Träger dasselbe thermische Verhalten. Der Heizkörper ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Zudem ist die Heizzone so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – es kommt weder zu Ausgasungen noch zu Verunreinigungen des Photoresists oder der Oberflächen. Die Prozesse können wiederholt ausgeführt werden, wodurch kritische Parameter wie die Temperatur während des Heizzyklus stets im gewünschten Bereich bleiben.

Montage on Infrared Heat Limited

Heizer für die Fabrikfertigungswerkstatt