Polyimid Bäckofen Infrarotlampe

Wed, 01 Jul 2026 12:20:00 +0800

Im Bereich der Lithografie ist die Trocknung des Polyimids entscheidend für die Genauigkeit der Abmessungen der feinen Metalllinien. Eine Temperaturänderung von 5°C auf der Waferoberfläche kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden – das reicht aus, um die Formation der Linien zu stören. Wir haben daher Infrarotlampen entwickelt, die diese Schwankungen ausgleichen.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler, die auf die Absorption durch Polyimid abgestimmt sind. Die thermische Reaktion erfolgt schnell – innerhalb von Sekundenbruchteilen – und wir halten die Homogenität der Waferoberfläche bei ±0,1°C. Der Lampenkörper ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet; er besteht aus Materialien mit geringer Gasemission und ist so konstruiert, dass keine Partikel entstehen können. Dadurch bleibt die Anzahl der Defekte niedrig.

Polyimid on Infrared Heat Limited

Polyimid Bäckofen Infrarotlampe