Sensor on Infrared Heat Limited

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Wed, 22 Jul 2026 04:32:52 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafern zerstören!
Führen Sie ein Reinraumumfeld der Klasse 100, dann kennen Sie dieses Problem bereits. Schon eine einzige mikroskopisch kleine Partikel kann auf einer Wafer landen – und plötzlich sinkt die Produktivität drastisch.

Das Problem liegt meist bei den Heizelementen. Die meisten Standardlampen geben Gase ab oder speichern kleine Partikel ab – gerade dann, wenn sie besonders sauber sein müssen. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz verwendet haben.

Präziser IR Sensor für Wafern

Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800

Warum wir auf Infrarot-Härtung für bleifreie Chips umsteigen
Die Halbleiterindustrie wechselt endlich von den alten Konvektionsöfen ab. Die meisten von uns verwenden nun Infrarot-Härtung – und das liegt nicht nur daran, dass es sich um eine „umweltfreundlichere“ Methode handelt. Es geht vielmehr darum, wie die Wärme tatsächlich wirkt.

Anstelle von heißer Luft wird bei der Infrarot-Härtung elektromagnetische Strahlung verwendet. Dadurch wird die Luft nicht beeinflusst – die Strahlung trifft direkt auf das Zielobjekt.

Der Energieaspekt
Stellen Sie sich einen Konvektionsofen vor: Man muss die gesamte Kammer, die Luft, die Wände – einfach alles – erhitzen. Das ist eine Verschwendung von Energie. Bei der Infrarot-Härtung ist das anders. Wir können die Strahlung so einstellen, dass sie genau auf die Absorptionsbänder des Fotoresists oder des Wafern selbst abgestimmt ist.

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern

Fri, 17 Jul 2026 06:08:03 +0800

Wie man MEMS-Wafer trocknet – ohne Probleme
Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist es wichtig, ein feines Gleichgewicht zu finden. Man benötigt genug Wärme, um die Aufgabe zu erledigen – doch diese Wärme muss gleichmäßig verteilt werden. Wenn noch etwas Feuchtigkeit zurückbleibt oder die Wärme ungleichmäßig auf den Wafer wirkt, kann das zu Problemen wie Haftungen oder Rissen in der Sensormembran führen. Das ist ein Albtraum, den niemand haben möchte.

Deshalb konstruieren wir unsere Heizelemente so, dass sie diese hohen Anforderungen erfüllen. Wir konzentrieren uns darauf, die Temperatur schnell anzuheben und sie über die gesamte Oberfläche gleichmäßig zu halten.

Intelligente Sensorverpackung Infrarot

Tue, 14 Jul 2026 10:56:53 +0800

Kohlenstoffeinsparung bei der Verpackung von Halbleitern mit intelligenten Infrarot-Technologien
Die Herstellung von Halbleitern ist ein energieintensiver Prozess. Wenn man sich die Schritte zur Trocknung und Vorbereitung der Sensoren ansieht, stellt man fest, dass dort häufig herkömmliche Konvektionsöfen verwendet werden – diese geben einfach nur Wärme in eine riesige Metallbox ab. Die meisten dieser Energiemengen erreichen den Chip überhaupt nicht; sie erwärmen lediglich den Raum.

Daher kommt das Infrarot ins Spiel. Anstelle des Heizens des gesamten Raumes trifft das Infrarot direkt auf den Chip. Dadurch wird die Wärmeeffizienz erheblich erhöht.

Heizer für die Herstellung von Wasserstoffsensoren

Sat, 11 Jul 2026 08:36:49 +0800

Halten Sie den „Glaskrach“ auf: Wie man seine Wasserstoff-Sensoren sauber hält
Wenn Sie bereits Erfahrung mit der Herstellung von Wasserstoff-Sensoren haben, kennen Sie sicherlich dieses schreckliche Szenario: Während eines intensiven Betriebs bricht plötzlich eine Quarzlampe. Es handelt sich dabei nicht nur um eine defekte Glühbirne – es ist eine Katastrophe. Glasscherben und chemische Rückstände bedecken die Wafer – und damit ist die ganze Charge nutzlos geworden.

Warum Lampen eigentlich versagen
Diese Hochleistungs-IR-Lampen arbeiten in extrem heißen Bedingungen. Wenn der Temperaturunterschied zwischen dem Glühfaden und der Quarzhülle zu groß wird, entsteht ein thermischer Schock. Wenn das mehrmals während intensiver Betriebszyklen passiert, entstehen Mikrorisse. Sobald die Vakuumpresseurung zusammenbricht, brennt der Glühfaden sofort aus – und die Lampe zerbricht meist ebenfalls.