Infrarotheizer für Vakuumkammern

Mon, 27 Jul 2026 08:47:47 +0800

Die richtige Temperatur im Vakuum erzielen
Wenn Sie eine intelligente Fertigungsmaschine für die Industrie 4.0 konstruieren, haben Sie wahrscheinlich bereits festgestellt, dass herkömmliche analoge Heizmethoden nicht mehr ausreichen. Man benötigt genaue Daten – man muss genau wissen, was sich innerhalb der Kammer abspielt.
Das Schwierige dabei: Im Vakuum kann man sich nicht auf die Konvektion verlassen, um Wärme zu verteilen. Deshalb nutzen wir Infrarotstrahlung. Das ist die einzige Möglichkeit, Energie direkt auf das Substrat zu übertragen, ohne ein Medium zum Tragen der Energie benötigen zu müssen.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Thu, 16 Jul 2026 02:28:11 +0800

Erwärmen im Vakuum – der IR-Ansatz
Wenn man mit Halbleiterwafern arbeitet, möchte man auf keinen Fall, dass ein Staubkorn oder eine fremde Molekülgruppe die Qualität der Wafers beeinträchtigt. Doch Wärme ist dennoch notwendig. Das Problem: Man kann kein heißes Luftstrom im Vakuum erzeugen – schließlich gibt es dort kein Luft.

Daher kommen vakuumkompatible IR-Heizgeräte ins Spiel. Anstatt die Umgebung zu erwärmen, senden diese Geräte Strahlungsenergie direkt auf das Zielobjekt. Dadurch wird keine Luft bewegt – und das Vakuum bleibt ungestört.

Vakuum on Infrared Heat Limited

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer