Verteiler von Ersatzteilen für Fabrikationsanlagen

Sat, 27 Jun 2026 04:32:12 +0800

In der Fertigungshalle darf man es zu, dass sich das Trocknungsprofil des Fotolacks um 2°C verschiebt – plötzlich wehrt sich die Lithografieanlage gegen diese Veränderungen. Uneinheitliche Temperaturen während des Weichtrocknens führen schnell zu Variationen in der Linienbreite. Inkonstanz beim Harttrocknen wiederum führt zu Problemen wie Schmutzbildung und schlechter Haftung des Fotolacks. Das Endergebnis sind nutzlose Wafer sowie unplanmäßige Stillstände, während man versucht, die thermische Stabilität zu gewährleisten.

Was technisch wichtig ist:
Wir haben diese Heizsysteme für die Kontrolle auf Halbleiterqualität entwickelt: Eine Genauigkeit von ±0,1°C auf Waferebene, Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 sowie keine Partikelbildung. Kurzwell- und Mittelwellinfrarotkomponenten sorgen für schnelle, wiederholbare Temperaturanpassungen – dadurch erhält der Fotolack jedes Mal das gleiche Trocknungsprofil. Das System arbeitet 24/7 ohne unplanmäßige Stopps, und das thermische Profil bleibt auch bei Wechsel der Produktlinien konstant.

Vertreiber on Infrared Heat Limited

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