جلوگیری از تبدیل ابزارهای شما به «فرهای حرارتی»
لامپهای مادون قرمز با توان بالا، برای ایجاد چگالی حرارتی مورد نیاز در فرآیندهای فرآوری نیمههادیها، بسیار مناسب هستند. اما آنها یک عیب جدی دارند: حرارت تولید شده توسط آنها به همه جهات پخش میشود.
اگر راهی برای هدایت این انرژی به سمت مناسب وجود نداشته باشد، دیوارههای داخلی دستگاه، کل این حرارت را جذب خواهند کرد. در نتیجه، بدنه دستگاه آنقدر گرم خواهد شد که میتواند باعث سوختن اپراتور شود؛ همچنین، قطعات حساس دستگاه نیز دچار مشکل خواهند شد. این وضعیت واقعاً ناخوشایند است.
راهحل این مشکل، استفاده از سپرهای شیشهای کوارتزی است.
لامپهای مادون قرمز استاندارد، حرارت را به همه جهات تابش میکنند؛ اما با استفاده از سپرهای کوارتزی دقیق، میتوانیم یک دیوار محافظ ایجاد کنیم. از کوارتز استفاده میکنیم زیرا این ماده میتواند حرارت را بدون آسیب پذیرفتن تحمل کند. میتوانید این سپرها را در فاصله کمی از عناصر هالوژنی قرار دهید، بدون اینکه شکسته شوند.
این سپرها، امواج مادون قرمز را از برخورد با بدنه دستگاه جلوگیری کرده و آنها را به سمت ویفر هدایت میکنند. در نتیجه، حرارت در همان نقطه مورد نظر تمرکز میشود، در حالی که قسمتهای بیرونی دستگاه خنک باقی میمانند.
حالا، در انتخاب مواد، صرفهجویی نکنید.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ چرا؟ زیرا این ماده در هنگام تغییر دما، تغییر شکل نمیدهد. اگر سعی کنید از شیشههای ارزانتر استفاده کنید، احتمالاً در همان لحظهای که دستگاه به حداکثر توان خود برسد، شکسته خواهد شد.
نکته مهم درباره نصب این سپرها: به فاصله هوایی بین سپر و دستگاه توجه کنید. اگر سپر را خیلی محکم نصب کنید، حرارت زیادی تولید شده و انتهای لامپ خراب خواهد شد؛ اما اگر آن را خیلی شل نصب کنید، اثر هدایت حرارت از بین خواهد رفت. کل موضوع، یافتن نقطه متعادل است.
اثرات این روش بر کارهای روزمره شما چیست؟
با استفاده از این سپرها، اثر «فر حرارتی» در داخل دستگاه از بین میرود. فنهای خنککننده دستگاه دیگر نیازی به کار بیشتر نخواهند داشت، و سیستم آب سرد دستگاه نیز نیازی به کار بسیار سخت نخواهد داشت.
یادآوری مهم: کوارتز مادهای شکننده است؛ حتی یک حرکت نادرست در هنگام تعویض لامپ، میتواند باعث خرابی دستگاه شود. همچنین، همیشه از دستکش استفاده کنید؛ چرا که روغنهای پوستی میتوانند باعث ایجاد نقاط گرم روی شیشه شوند، و این موضوع منجر به خرابی زودهنگام دستگاه خواهد شد.