چرا از بازتابندههای پوشیده شده با طلا برای خشککردن در فرکانس مادون قرمز استفاده میکنیم؟
در کارخانههای تولید ویفر، هدر دادن انرژی در واقع به معنای هدر دادن پول است. وقتی از خشککنهای دیجیتال مادون قرمز استفاده میکنیم، هدف صرفاً افزایش دما نیست؛ بلکه باید مطمئن شد که گرما واقعاً به سمت ویفر برسد و نه اینکه در بدنه دستگاه جذب شود.
در همین جاست که بازتابندههای پوشیده شده با طلا میتوانند کمک کنند.
منطق استفاده از این بازتابندهها بسیار ساده است.
اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما این بازتابندهها مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. طلا متفاوت است؛ آن، تشعشعات مادون قرمز را مانند آینه منعکس میکند و گرما را دوباره به سمت ویفر میفرستد.
این امر به این معناست که میتوانید گرمای بیشتری روی ویفر اعمال کنید، بدون اینکه نیاز به افزایش توان دستگاه باشد. این روش کارآمد است.
اما مسئله دقت نیز وجود دارد. حتی اگر از بهترین کنترلکنندههای دیجیتال استفاده کنید، اگر لایه پوششی بازتابنده کیفیت خوبی نداشته باشد، عملکرد دستگاه خوب نخواهد بود.
بازتابندههای طلایی به حذف این «نقاط سرد» کمک میکنند؛ در نتیجه، پروفیل حرارتی یکنواختی در سراسر سطح ویفر ایجاد میشود. بدون این کار، خشککردن ویفر ناهموار خواهد بود، یا حتی ممکن است ویفر دچار تغییر شکل شود.
البته، این روش کاملاً جادویی نیست.
طلا عالی است، اما نیاز به نگهداری دقیق دارد؛ طلا از آلودگیها متنفر است. اگر گازهای آلی یا باقیماندههای شیمیایی در محفظه خلا وجود داشته باشد، لایه طلا شروع به تخریب خواهد کرد. بنابراین باید به طور دقیق از روشهای تمیزکاری استفاده کنید تا بازتابندگی طلا حفظ شود.
نکته آخر این است که وقتی از این بازتابندهها همراه با کنترلکنندههای دقیق استفاده میکنید، زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر به طور قابل توجهی کاهش مییابد. همچنین، میزان انرژی مصرفی در هر چرخه کاهش مییابد، که این موضوع مزیت بزرگی است.
اما مراقب فنهای خنککننده نیز باشید؛ زیرا با تمرکز انرژی بالا، بدنه دستگاه میتواند بسیار گرم شود. اگر هوا به درستی جریان نیابد، حسگرهای دستگاه آسیب خواهند دید.