در فرآیند پردازش ویفرهای سیلیکونی، نباید انرژی را هدر داد. هر وات انرژی مهم است؛ اما مشکل اینجاست که لامپهای کوارتزی استاندارد، انرژی زیادی را از سمت پشت و کنارههای خود از دست میدهند؛ این انرژی برای فرآیند شما بیفایده است.
به همین دلیل، ما از لامپهای دو لولهای با پوشش طلا استفاده میکنیم. با قرار دادن لایهای از طلا در قسمت پشت لوله، در واقع لامپ را به یک منبع گرمایی قوی تبدیل میکنیم.
چرا طلا؟
دلیلش، رفتار تابش مادون قرمز است؛ طلا، تابش مادون قرمز را بهتر از آلومینیوم یا فولاد صیقلی منعکس میکند. میتوانید این پوشش را مانند یک آینه در نظر بگیرید؛ گرما به جای پراکندگی در همه جهات، به سمت جلو منعکس میشود.
در نتیجه، پرتو گرمایی متمرکزی روی سطح ویفر ایجاد میشود. بهترین بخش این است که میتوانید جریان گرمایی بسیار قویتری به دست آورید، بدون اینکه نیاز به استفاده از انرژی بیشتری از سیستم برقی خود داشته باشید. این روش، استفاده هوشمندانهتری از انرژی است که پول آن را پرداختهاید.
معایب و راه حلها
طراحی دو لولهای مزیت بزرگی دارد؛ زیرا امکان استفاده از توان بیشتری در فضای کوچکتری وجود دارد. همچنین، سطح تابش گرما نسبت به لامپهای تکلولهای بیشتر است؛ این موضوع برای بهبود کارایی بسیار مفید است.
اما معایبی نیز وجود دارد؛ تمام این توان، گرمای زیادی در انتهای لامپ ایجاد میکند. اگر سیستم خنککننده شما کافی نباشد، اتصالات لامپ آسیب خواهند دید. حتماً، قبل از استفاده از این لامپها، سرعت جریان هوا را بررسی کنید؛ این کار میتواند از خرابی لامپ جلوگیری کند.
نحوه استفاده
این لامپها برای مواقعی مناسب هستند که نیاز به افزایش سریع دما و دمای یکنواخت در سراسر سطح ویفر دارید. از آنجایی که پوشش طلا، انرژی را به خوبی متمرکز میکند، میتوانید لامپ را نزدیکتر به سطح ویفر قرار دهید؛ این کار باعث میشود ماشین شما کوچکتر شود.
این لامپها میتوانند به راحتی در سیستم فعلی شما نصب شوند؛ اما باید توجه داشته باشید که پروفایل حرارتی متفاوت خواهد بود. از آنجایی که انرژی بیشتری به سطح ویفر میرسد، احتمالاً نیاز خواهد بود که کنترلکنندههای PID خود را تنظیم کنید تا همه چیز به درستی کار کند.