http://ir-heat-ltd.com/fa/tags/%D8%AF%D9%82%D8%AA/ Recent content in دقت on Infrared Heat Limited Hugo fa Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفر"></p> <p>چرا ما به استفاده از روش خشک‌کردن با امواج مادون قرمز برای تولید تراشه‌های بدون سرب روی آورده‌ایم؟<br> دنیای نیمه‌هادی‌ها در حال ترک کردن آن فرهای قدیمی است. اکثر ما به استفاده از روش خشک‌کردن با امواج مادون قرمز روی آورده‌ایم؛ و این کار صرفاً برای رعایت قوانین «سازگار با محیط زیست» یا استفاده از مواد بدون سرب نیست… هرچند که این موضوع نیز اهمیت زیادی دارد. موضوع اصلی، نحوه عملکرد حرارت است.<br> در حالی که فرهای معمولی از هوای گرم برای گرم کردن فضا استفاده می‌کنند، روش مادون قرمز از تابش الکترومغناطیسی استفاده می‌کند. این روش با هوا درگیر نمی‌شود؛ بلکه مستقیماً بر روی سطح مورد نظر تأثیر می‌گذارد.<br> <strong>جنبه انرژی</strong><br> فرهای معمولی نیاز به گرم کردن کل فضای داخل فر دارند؛ این کار باعث هدررفت انرژی می‌شود. اما روش مادون قرمز متفاوت است؛ می‌توانیم آن را طوری تنظیم کنیم که تنها بر روی نواحی خاصی از سطح تراشه تأثیر بگذارد.<br> این روش مستقیم است؛ نیازی به استفاده از عناصر گرمایشی برای گرم نگه داشتن هوا نیست. در نتیجه، سرعت گرم شدن تراشه بسیار بیشتر خواهد بود؛ این امر باعث کاهش هزینه‌های برق و سرعت بیشتر تولید تراشه‌ها می‌شود.<br> <strong>تنظیم دقیق دما</strong><br> مشکل اینجاست که فلزات و موادی که برای ساخت تراشه‌های بدون سرب استفاده می‌شوند، نیاز به دمای بسیار دقیقی دارند. اگر دما کمی بیشتر یا کمتر شود، تراشه‌ها دچار مشکل خواهند شد.<br> در روش مادون قرمز، از حسگرهایی استفاده می‌شود که به طور لحظه‌ای سطح تراشه را زیر نظر دارند. به محض تغییر دما، حسگرها به کنترلر توان اطلاع می‌دهند تا تشدید نور کاهش یابد. در این روش، هیچ تأخیر حرارتی وجود ندارد؛ یعنی هوا حتی پس از خاموش کردن دستگاه، گرم باقی نمی‌ماند. این روش کنترل دقیق‌تری را فراهم می‌کند.<br> <strong>تمیز کردن فضا</strong><br> علاوه بر این، فضای کارخانه نیز تمیزتر می‌شود؛ دیگر نیازی به استفاده از دکل‌های تهویه بزرگ و دستگاه‌های تصفیه گازهای مضر نیست. کل سیستم فضای کمتری را اشغال می‌کند.<br> اما این روش کاملاً بدون معایب نیست؛ باید مراقب «اثر لبه‌ها» باشیم. از آنجایی که امواج مادون قرمز در یک خط مستقیم حرکت می‌کنند، لبه‌های تراشه ممکن است سریع‌تر از مرکز آن گرم شوند. بنابراین باید مراقب فاصله لامپ‌ها از سطح تراشه باشیم. اگر فاصله مناسب نباشد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد؛ و این نقاط گرم می‌توانند کل محموله تراشه‌ها را خراب کنند.</p> http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/high-precision-temperature-heater/ Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="گرمکن دمایی با دقت بالا"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، این دمای ۹۰ درجه سانتی‌گراد، صرفاً یک تنظیمات روی پانل کنترل نیست؛ بلکه مرزی است که بین پروفیل مناسب فوتورزیست و ویفری که در نهایت به زباله‌ها تبدیل می‌شود، وجود دارد.<br> حتی اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتی‌گراد نیز می‌تواند باعث اختلال در یکنواختی CD شده و کنترل عرض خطوط را از حد مجاز خارج کند. در این صنعت، دما صرفاً یک مفهوم گرمایی نیست؛ بلکه یک متغیر فرآیندی است که باید در چارچوب دمایی مشخصی باقی بماند.<br> ما از گرمکن‌های با دقت بالا استفاده می‌کنیم؛ این گرمکن‌ها باعث می‌شوند یکنواختی ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ شود. همچنین، این گرمکن‌ها طوری طراحی شده‌اند که اختلافات دمایی منجر به ایجاد ذرات نشود.<br> ما از اجزای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده می‌کنیم؛ این اجزا به سرعت واکنش نشان می‌دهند، بنابراین فرآیند گرم کردن تحت کنترل دقیق است. منطقه گرم نیز از سایر بخش‌های محفظه جدا شده است؛ این کار از محفظه در برابر گازهای ناشی از فرآیند و آلودگی‌ها محافظت می‌کند.<br> در فرآیند تولید، این دقت در نتایج خوبی منجر می‌شود: کمترین تغییرات، کمترین میزان ضایعات، زمان‌های فرآیندی قابل پیش‌بینی، و فرآیندهای گرم کردن که به اندازه کافی پایدار هستند. این امر به کاهش نیاز به بازسازی وافرها کمک می‌کند.<br> مصرف انرژی نیز کمتر است؛ زیرا گرم کردن به شکل کارآمدی انجام می‌شود و اختلافات دمایی نیز به حداقل می‌رسد. این سیستم برای کار ۲۴ ساعته مناسب است؛ بنابراین زمان توقف غیرمنتظره تقریباً صفر است.<br> قبل از تعیین مشخصات این سیستم، چند نکته مهم وجود دارد: این گرمکن‌ها به خوبی با سایر اجزای سیستم ادغام می‌شوند، اما به منبع تغذیه پایدار و چاک متناسب با جرم حرارتی نیاز دارند تا بتوانند یکنواختی مورد نظر را حفظ کنند. همچنین، باید فرآیند تنظیم PID را برای سیستم خود انجام دهید و از اتصالات مناسب برای جلوگیری از نفوذ سیگنال‌های الکترومغناطیسی استفاده کنید.<br> وقتی که هماهنگی لازم برقرار شود، فرآیند به خوبی انجام خواهد شد؛ بدون اینکه تغییرات دمایی باعث از بین رفتن وافرها شود.</p>