http://ir-heat-ltd.com/fa/tags/%D9%81%D8%B1-%D8%A8%DB%8C%D8%B1%D9%88%D9%86-%D8%A8%D8%B1%D9%82%DB%8C/ Recent content in فر بیرون برقی on Infrared Heat Limited Hugo fa Tue, 02 Jun 2026 05:52:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/semiconductor-oven-heating-element/ Tue, 02 Jun 2026 05:52:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/semiconductor-oven-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="عنصر گرمکن اجاق نیمههادی"></p> <p>در کف کارخانه، پخت فوتورزیست صرفاً «یک مرحله گرمایشی» نیست. این کنترل ابعادی است، ساده و واضح.<br> فقط با افزایش یا کاهش ۲ درجه سانتی‌گراد در پخت نرم یا سخت، از هدف اندازه بحرانی (CD) خارج می‌شوید. خط تولید متوقف می‌شود. به همین دلیل ما المنت گرمایشی کوره را طوری طراحی کردیم که دمای فرآیند را با انضباطی که کارخانه واقعاً می‌طلبد، حفظ کند.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد</strong><br> ما از IR موج کوتاه در یک محفظه کوارتزی استفاده می‌کنیم چون پاسخ سریع دارد و انتقال حرارت پاک ارائه می‌دهد. در کل بار ویفر، یکنواختی ±0.1°C است و تکرارپذیری بین هر بار اجرا در همان حد باقی می‌ماند.<br> ساختار با اتاق‌های تمیز کلاس 1–100 سازگار است. ما میزان گازدهی را پایین نگه می‌داریم و تولید ذرات را در طول پخت صفر حفظ می‌کنیم. تامین توان پایدار است، بنابراین پروفایل‌های افزایش دما و نگه‌داری حرارت دقیق باقی می‌مانند—که بودجه حرارتی را در محدوده لیتوگرافی نگه می‌دارد.</p>