http://ir-heat-ltd.com/fa/tags/%DA%A9%D8%B1%D8%A7%DB%8C%D9%88%DA%98%D9%86%D8%AA%DB%8C%DA%A9/ Recent content in کرایوژنتیک on Infrared Heat Limited Hugo fa Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/fa/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="گرمکن پشتیبان سیستم کریوجنیک"></p> <p>در طبقه تولید، پنجره‌های فرایند سرمادهی به پشتیبانی حرارتی نیاز دارند که دچار انحراف نشود. اگر گرم‌کننده پشتیبان دچار لغزش شود، احتمال ریزش پروفیل فوتورزیست، تغییرات CD و نوع توقف ناخواسته ابزار افزایش می‌یابد که هیچ‌کس خواهان آن نیست. ما گرم‌کننده پشتیبان سیستم سرمادهی خود را برای انضباط حرارتی فرایندهای پیشرفته ویفر طراحی کرده‌ایم—حرارتی پایدار و یکنواخت که خطای مجاز آن بر حسب نانومتر اندازه‌گیری می‌شود.</p> <p><strong>نکات فنی مهم</strong><br> واحد از یک المنت کم‌جرم حرارتی استفاده می‌کند تا سریع پایدار شده و کنترل دقیق را حفظ کند، و یکنواختی در سطح ویفر را در بازه ±0.1°C در سطح پخت نگه دارد. سیستم به‌صورت کاملاً تمیز کار می‌کند—هیچ تولید ذره‌ای ندارد—و طراحی دستگاه مطابق کلاس تمیزی 1 تا 100 اتاق تمیز است. تأمین برق به صورت تکرارپذیر انجام می‌شود، بنابراین از بودجه حرارتی پخت نرم و سخت بدون اتلاف حرارتی پشتیبانی می‌کند. این گرم‌کننده برای نصب در جایگاه‌های استاندارد ابزارهای نیمه‌هادی طراحی شده است، با ولتاژ قابل تنظیم، انواع اتصال‌دهنده‌ها و پروفایل جمع‌وجور که هم برای بازسازی‌های قدیمی و هم نصب‌های جدید مناسب است.</p>