Arrêtez de gaspiller votre énergie : pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment utiles
Lorsque vous chauffez des wafer en silicium, chaque watt compte. Si vous utilisez des réflecteurs en aluminium standard, vous perdez probablement plus d’énergie que vous ne le croyez. L’énergie disparaît simplement : elle est absorbée par le métal ou dispersée dans la mauvaise direction.
C’est pourquoi nous utilisons de l’or. Cela peut sembler luxueux, mais c’est en réalité une solution pratique. Il s’agit de diriger autant que possible les rayonnements infrarouges vers le wafer.
Or contre aluminium : quelle est la vraie différence ?
L’aluminium est un matériau fiable, mais il ne fonctionne pas bien avec les longues longueurs d’onde infrarouges. L’or, lui, reflète une large gamme de longueurs d’onde infrarouges. En mettant une fine couche d’or de haute pureté sur le réflecteur, nous permettons à l’énergie de se diriger vers le wafer, plutôt que de se dissiper dans le cadre de la machine.
Il ne s’agit pas seulement d’augmenter la puissance utilisée. Il s’agit de s’assurer que l’énergie disponible atteigne bien sa destination.
Obtenir une précision parfaite
La précision est essentielle avec les wafer. Si l’angle du faisceau n’est pas correct, des points chauds apparaissent. Ces points chauds provoquent des déformations du substrat. Ce n’est pas très bon.
Nous conçons ces réflecteurs de manière à ce que chaque millimètre carré du wafer reçoive exactement la même quantité de chaleur. C’est un équilibre délicat.
Un conseil : gardez-les propres. L’or est chimiquement stable, mais il déteste la saleté. Si des contaminants s’accumulent à sa surface, sa capacité de réflexion diminue. Vous remarquerez rapidement une baisse de la uniformité de la température, bien avant que la lampe ne cesse de fonctionner.
Le compromis
Le problème, c’est que lorsque vos réflecteurs deviennent si efficaces, vous avez deux choix : soit vous réduisez la puissance totale utilisée, soit vous atteignez plus rapidement les températures souhaitées.
Mais il y a un inconvénient : concentrer autant d’énergie dans un espace aussi restreint exerce une grande pression sur les systèmes de refroidissement. Si vous utilisez des réflecteurs en or à haut flux, vérifiez bien votre système de refroidissement par eau froide. Vous devez être capable d’évacuer rapidement cette chaleur. Sinon, les supports peuvent commencer à bouger en raison de l’expansion thermique.
Et personne ne veut avoir affaire à ça.