Arrêtez de chauffer les parois de vos équipements (et commencez plutôt à chauffer les wafer eux-mêmes). Avez-vous déjà touché la paroi d’un équipement de fabrication et ressenti cette chaleur qui s’en dégageait ? C’est agaçant, c’est un risque pour la sécurité, et en réalité, c’est une perte inutile d’énergie.
La plupart des éléments chauffants standards dispersent simplement la chaleur partout autour d’eux. Ils échappent de l’énergie dans toutes les directions, ce qui fait que les parois intérieures deviennent comme de gigantesques dissipateurs de chaleur. En fait, vous payez pour chauffer le châssis de votre machine, au lieu de celui qui est vraiment important : les wafer eux-mêmes.
Nous avons résolu ce problème en passant à des lampes infrarouges directionnelles.
Comment ça fonctionne vraiment ? Imaginez plutôt une lampe de poche plutôt qu’une ampoule classique. Plutôt que d’émettre une lumière qui remplit toute la pièce, ces lampes utilisent des réflecteurs pour diriger un faisceau de chaleur directement vers le wafer ou le substrat.
La chaleur atteint son objectif et s’arrête là. Vous obtenez donc la température souhaitée, exactement là où elle est nécessaire, tandis que le reste de la machine reste frais. Plus besoin d’avertissements de type “Danger : surface chaude”.
La partie complexe (l’aspect technique) Vous ne pouvez pas simplement remplacer un élément chauffant par une lampe infrarouge. Ce n’est pas si simple.
Comme les rayons infrarouges sont très concentrés, vous mettez beaucoup d’énergie dans un petit point précis. Si vous ne faites pas attention, vous risquez de surchauffer le substrat.
Il vous faudra également prendre en compte vos contrôleurs PID. Les rayons infrarouges réagissent rapidement. Très rapidement, en fait. Si vos contrôleurs ne sont pas ajustés pour cette vitesse, vous dépasserez la température cible avant même que le système ne s’en rende compte.
Un environnement de travail plus agréable Le meilleur aspect ? Votre système de climatisation vous remerciera. Lorsque vous cessez de gaspiller de l’énergie inutilement, la charge de refroidissement de votre salle blanche diminue.
De plus, vous pouvez abandonner ces couvertures isolantes encombrantes et ces ventilateurs bruyants. Plus de vibrations, plus de risque que les ventilateurs soulèvent des particules. C’est tout simplement un système plus propre et plus compact.
Un petit conseil : gardez vos réflecteurs propres. Un peu de poussière sur ces miroirs réduit considérablement leur efficacité, et la chaleur est alors renvoyée dans le boîtier. Gardez-les propres, et tout restera frais.