Capteur de température pour outil de wafer

Wed, 22 Jul 2026 04:32:51 +0800

Arrêtez de laisser vos éléments chauffants détruire vos wafers !
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez certainement ce cauchemar : une seule particule microscopique qui se pose sur un wafer suffit pour que votre rendement chute drastiquement.
Le problème vient généralement des éléments chauffants. La plupart des lampes standards libèrent des gaz ou des particules fines au moment même où il est nécessaire qu’elles restent propres. Nous avons donc décidé de résoudre ce problème en utilisant du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges.

Chauffage à température haute précision

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

Dans le domaine de la lithographie, cette étape de chauffe à 90 °C n’est pas simplement une mise en œuvre prévue sur le panneau de contrôle. C’est plutôt une limite cruciale : elle détermine si le profil du photorésiste reste stable ou non, et donc si la puce finira dans la poubelle des déchets ou non.

Une variation de température de 0,5 °C suffit à perturber l’uniformité de la couche de photorésiste et à faire dépasser les spécifications relatives à la largeur des lignes dessinées sur la puce. Dans ce secteur, la température n’est pas simplement une question de chaleur : c’est une variable importante dont il faut garantir que elle reste dans des limites strictes, lot après lot.

Température on Infrared Heat Limited

Capteur de température pour outil de wafer

Chauffage à température haute précision