תפסיקו לאפשר לרכיבי החימום שלכם להרוס את הוופרים שלכם אם אתם משתמשים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כנראה כבר מכירים את הבעיה הזו. חלקיק מיקרוסקופי אחד...

בתהליך הליתוגרפיה, טמפרטורה של 90°C אינה סתם הגדרה במערכת – זו הגבול שבין פרופיל של חומר הציפוי שנשאר בצורתו הרצויה, לבין שבב שנהרס ונזרק לפח האשפה....