http://ir-heat-ltd.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on Infrared Heat Limited Hugo he Fri, 26 Jun 2026 04:39:43 +0800 http://ir-heat-ltd.com/he/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:39:43 +0800 http://ir-heat-ltd.com/he/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורה לאפיית פוטורזיסט"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, הפרופיל התרמי במהלך עיבוד הפוטורזיסט הוא אחד מאותם גורמים שאי אפשר לשנות. אם יש סטיות בתהליך החימום הרך, אז ישנה אידוי לא נכון של החומרים. ואם יש נקודות חם במהלך החימום החזק, אז הממדים הקריטיים של החומר משתנים. כל אלו פוגעים באיכות התוצר ובזמן העיבוד. ייצרנו את המנורות שלנו כך שהן ישמרו על הפרופיל התרמי הרצוי – מהחימום הרך ועד החימום החזק – בכל הוופרים.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו משתמשים בגופי פלורין או גופי קרינה באורך גל אינפרא-אדום, יחד עם אופטיקה מקוורץ ושליטה במעגל סגור, כדי לשמור על אחידות בטמפרטורה של הוופר ברמה של ±0.1°C. התוצאה היא פרופילי חימום עקביים, שמשמרים את עובי הפוטורזיסט ואת הממדים הקריטיים שלו, לאורך כל התהליך. העמידות של המנורות לתנאי חדר נקי מסוג 1–100 כבר תוכננה בתכנון שלהן: חומרים עם פליטה נמוכה של גזים ומערכות שמשמרות על רמת טוהר גבוהה, כך שאין זיהום בתהליך.</p>