अपने उपकरणों की दीवारों को गर्म करना बंद करें… और अपने वेफरों को ही गर्म करें!
क्या आपने कभी किसी उपकरण की सतह को छूकर उससे निकलने वाली गर्मी को महसूस किया है? यह बहुत ही परेशान करने वाली बात है… यह तो सुरक्षा के लिहाज से भी खतरनाक है… और वास्तव में, यह तो बेकार ही है।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व, गर्मी को हर दिशा में फैला देते हैं… इससे उपकरण की आंतरिक दीवारें भी गर्म हो जाती हैं। वास्तव में, आप तो उपकरण के वास्तविक हिस्सों को गर्म करने के बजाय, उपकरण के शेल को ही गर्म कर रहे हैं।
हमने इस समस्या का समाधान “दिशात्मक IR लैंप”ों का उपयोग करके किया।
यह कैसे काम करता है?
इसे एक टॉर्च की तरह ही समझें… ये लैंप, पूरे कमरे में रोशनी फैलाने के बजाय, प्रतिबिंबकों का उपयोग करके गर्मी की किरणों को सीधे वेफर/सब्सट्रेट पर भेजते हैं।
गर्मी सीधे लक्ष्य पर ही पहुँचती है… और वहीं रुक जाती है। इस तरह, आपको वांछित तापमान वहीं मिल जाता है… और उपकरण का बाकी हिस्सा ठंडा ही रहता है। अब कहीं भी “खतरा: गर्म सतह” जैसी चेतावनियाँ नहीं आतीं।
चुनौतियाँ…
अब, आप बस रेजिस्टिव हीटर को हटाकर IR लैंप लगा नहीं सकते… ऐसा करना इतना आसान नहीं है।
क्योंकि IR लैंप बहुत ही तीव्र गर्मी पैदा करते हैं… इसलिए अगर आप थर्मल बजट का ध्यान नहीं रखेंगे, तो सब्सट्रेट ओवरहीट हो जाएगा।
आपको अपने PID कंट्रोलरों का भी ध्यान रखना होगा… IR लैंप बहुत ही तेजी से प्रतिक्रिया देते हैं… अगर आपके कंट्रोलर इस गति के लिए उपयुक्त न हों, तो सिस्टम को कुछ समझने से पहले ही आपका लक्ष्य तापमान प्राप्त हो जाएगा।
एक बेहतर क्लीनरूम…
सबसे अच्छी बात यह है कि आपका HVAC सिस्टम भी आपको धन्यवाद देगा… क्योंकि अब आप हवा में अतिरिक्त गर्मी नहीं छोड़ रहे हैं… इससे क्लीनरूम पर लगने वाला शीतलन भार कम हो जाता है।
इसके अलावा, आपको उन मोटे इन्सुलेशन कंबलों एवं तेज आवाज वाले कूलिंग फैनों की आवश्यकता ही नहीं है… अब कोई कंपन नहीं, कोई चिंता नहीं… बस एक साफ-सुथरा एवं छोटा सा उपकरण ही।
एक छोटा सा सुझाव: अपने प्रतिबिंबकों को हमेशा साफ रखें… उन पर थोड़ी भी धूल होने से दक्षता कम हो जाती है… और गर्मी वापस उपकरण में ही जाती है… उन्हें साफ रखें, ताकि सब कुछ ठंडा ही रहे।