क्लीन रूम ओवन – इन्फ्रारेड हीटर

Thu, 09 Jul 2026 05:30:26 +0800

परिचय
जब आप सेमीकंडक्टर वेफरों के साथ काम करते हैं, तो कोई भी लापरवाही बर्दाश्त नहीं की जा सकती। संदूषण नियंत्रण एवं सटीक तापमान नियंत्रण तो आवश्यक ही हैं… ये ऐसी चीजें हैं जिनके बिना काम ही संभव नहीं है।
तो सवाल यह है – हम कैसे यह सुनिश्चित कर सकते हैं कि आपूर्त की गई पूरी ऊर्जा उसी जगह उपयोग में आए, जहाँ उसकी आवश्यकता है?
इसका जवाब है हमारी उच्च-दक्षता वाली सोने की परत। यही इस प्रणाली का “हृदय” है… यह अनावश्यक ऊर्जा को कम करती है, एवं नियंत्रित वातावरण में तापमान को स्थिर रखती है।

सेमीकंडक्टर ओवन हीटिंग एलिमेंट

Tue, 02 Jun 2026 05:52:25 +0800

फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक केवल “तापन चरण” नहीं है। यह आयाम नियंत्रण है, बिल्कुल स्पष्ट और सरल।
सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक को केवल 2°C बढ़ाने से CD लक्ष्य से बाहर हो जाते हैं। लाइन रुक जाती है। इसलिए हमने ओवन हीटिंग एлемент को इस तरह बनाया है कि वह प्रक्रिया तापमान को उस अनुशासन के साथ बनाए रखे जिसकी फैब को वास्तव में आवश्यकता होती है।

तकनीकी रूप से महत्वपूर्ण क्या है
हम क्वार्ट्ज एनवलप में शॉर्ट-वेव IR चलाते हैं क्योंकि यह तेज़ प्रतिक्रिया देता है और साफ़ गर्मी स्थानांतरण प्रदान करता है। वेफर लोड में, तापमान समानता ±0.1°C है, और रन-टू-रन रिपीटेबिलिटी उसी सीमा में बनी रहती है।
यह निर्माण क्लास 1–100 क्लीनरूम के अनुकूल है। हम बेक के दौरान आउटगैसिंग को कम रखते हैं और कण उत्पादन को शून्य पर नियंत्रित करते हैं। पावर डिलीवरी स्थिर रहती है, इसलिए राम्प-अप और सोक प्रोफाइल सख्त रहते हैं—जिससे थर्मल बजट लिथोग्राफी विंडो के भीतर रहता है।

ओवन on Infrared Heat Limited

क्लीन रूम ओवन – इन्फ्रारेड हीटर

सेमीकंडक्टर ओवन हीटिंग एलिमेंट