Hentikan kebiasaan memanaskan dinding peralatan tersebut (dan mulailah memanaskan wafer saja). Pernahkah Anda menyentuh sisi peralatan produksi dan merasakan panas yang dipancarkan olehnya? Hal ini sangat mengganggu, berbahaya secara keselamatan, dan sebenarnya merupakan pemborosan energi.
Sebagian besar elemen pemanas biasa hanya memancarkan panas ke segala arah. Energi tersebut tersebar ke mana-mana, sehingga dinding peralatan menjadi semacam “penyerap panas” yang besar. Pada dasarnya, Anda membayar biaya untuk memanaskan bodi peralatan, bukan bagian yang benar-benar perlu dipanaskan.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lampu IR yang mampu memfokuskan panas ke arah yang diinginkan.
Cara kerjanya: Bayangkan saja lampu ini seperti senter, bukan bohlam biasa. Alih-alih memancarkan cahaya ke seluruh ruangan, lampu IR menggunakan reflektor untuk mengarahkan sinar panas tepat ke wafer atau substrat yang akan dipanaskan. Panas tersebut langsung mengenai targetnya, lalu berhenti di sana. Dengan demikian, Anda mendapatkan suhu yang diinginkan tepat di tempat yang dibutuhkan, sementara bagian lain dari peralatan tetap dingin. Tidak ada lagi peringatan “Bahaya: permukaan panas”.
Bagian yang sulit (Aspek teknis): Anda tidak bisa begitu saja mengganti elemen pemanas biasa dengan lampu IR. Hal ini tidaklah sesederhana itu. Karena sinar IR sangat terfokus, maka intensitas panasnya sangat tinggi di satu titik tertentu. Jika Anda tidak berhati-hati dalam mengatur suhu, substrat bisa menjadi terlalu panas.
Anda juga perlu memperhatikan pengontrol PID-nya. Lampu IR bereaksi sangat cepat. Jika pengontrolnya tidak disesuaikan dengan kecepatan tersebut, suhu akan melebihi batas yang ditentukan sebelum sistem sempat menyadari apa yang terjadi.
Manfaatnya: Sistem HVAC Anda akan bersyukur kepada Anda. Dengan mengurangi kebocoran panas ke udara, beban pendinginan di ruang bersih pun berkurang. Selain itu, Anda tidak perlu lagi menggunakan selimut isolasi yang tebal atau kipas pendingin yang berisik. Tidak ada lagi getaran, dan tidak perlu khawatir tentang debu yang dihasilkan oleh kipas. Semuanya menjadi lebih rapi dan efisien.
Tips penting: Pastikan reflektor tetap bersih. Sedikit saja debu pada reflektor tersebut akan mengurangi efisiensi pemanasan, sehingga panas akan kembali masuk ke dalam peralatan. Jaga reflektor tetap bersih, agar semuanya tetap dingin.