Lampu untuk pembuatan perangkat mikrofluidik

Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800

Di permukaan wafer, saluran mikrofluidik tidak memberikan ruang untuk terjadinya penyimpangan pada profil fotorezistan. Penyimpangan sekecil satu derajat saja sudah cukup untuk membuat lebar garis-garis pada fotorezistan berubah. Jika proses pemanasan dilakukan secara tidak tepat, akan muncul sisa-sisa bahan yang nantinya akan menyumbat saluran mikrofluidik tersebut. Anda membutuhkan lampu yang mampu mengontrol suhu dengan akurat, bukan hanya sebagai perkiraan semata.

Berikut adalah hal-hal penting yang perlu diperhatikan dalam penggunaan lampu ini. Kami merancang lampu mikrofluidik ini menggunakan emitor halogen SWIR yang berada di dalam kapsul kuarsa. Dengan cara ini, respons lampu menjadi cepat, dan output spektralnya tetap stabil dari hari ke hari. Keseragaman suhu di seluruh area pemanasan mencapai ±0,1°C, sehingga kontrol dimensi kritis dapat dilakukan secara konsisten setiap kali proses pemanasan dilakukan. Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang kerja bersih kelas 1–100, tanpa adanya partikel yang terbentuk, berkat adanya sistem pemantauan secara real-time. Kontrol berkelanjutan dilakukan menggunakan termokopel yang telah dikalibrasi, sehingga prosedur pemanasan dapat dilakukan secara konsisten.

Perangkat on Infrared Heat Limited

Lampu untuk pembuatan perangkat mikrofluidik