Pemanas suhu dengan akurasi tinggi

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

Di area litografi, proses pemanasan pada suhu 90°C bukan sekadar pengaturan yang ada di panel kontrol saja. Itu merupakan batas yang memisahkan kondisi fotoresist yang masih dalam bentuk yang diinginkan dari keadaan wafer yang akhirnya harus dibuang karena tidak memenuhi standar.

Perubahan suhu sebesar 0,5°C saja sudah cukup untuk mengganggu keseragaman kondisi wafer, sehingga mengakibatkan ketidakteraturan lebar garis yang dihasilkan. Dalam bisnis ini, suhu bukan sekadar besaran termal semata; melainkan variabel proses yang perlu dikendalikan dengan ketat, dari satu batch ke batch berikutnya.

Presisi on Infrared Heat Limited

Pemanas suhu dengan akurasi tinggi