Riscaldatore per carrello in sala pulita a semiconduttori

Fri, 10 Jul 2026 12:55:38 +0800

Ottenere più calore sulle wafer (senza sprecare energia)
Quando si riscalda le wafer sui carrelli di trasporto all’interno di una sala pulita, ogni briciola di energia è importante. Il problema principale è vedere come l’energia termica vada semplicemente persa. Nella maggior parte dei casi, quell’energia infrarossa non arriva nemmeno fino alla wafer; viene assorbita dal telaio del carrello.
Ecco perché utilizziamo l’oro.

Perché l’oro?
L’alluminio è lo standard, ma non è ottimale: assorbe e disperde troppa energia. L’oro, invece, è incredibilmente efficace nel riflettere la luce infrarossa esattamente dove è necessario. Invece di spendere energia per riscaldare il telaio del carrello – che comunque non serve a nulla per il processo di riscaldamento – lo strato d’oro dirige direttamente la radiazione verso il bersaglio desiderato. In questo modo si ottiene un flusso di calore molto più intenso, senza dover aumentare l’intensità dell’energia utilizzata.

Carrello on Infrared Heat Limited

Riscaldatore per carrello in sala pulita a semiconduttori