Riscaldatore di supporto per sistema criogenico

Sun, 07 Jun 2026 03:36:49 +0800

Out on the fab floor, le finestre di processo criogeniche richiedono un supporto termico che non si discosti. Se il riscaldatore di supporto subisce variazioni, si rischia il collasso del profilo del photoresist, deviazioni del CD e tempi di fermo macchina non programmati, indesiderati da chiunque. Abbiamo progettato il riscaldatore di supporto per il sistema criogenico per la disciplina termica del trattamento wafer avanzato — calore stabile e uniforme, dove il margine di errore si misura in nanometri.

Criogenico on Infrared Heat Limited

Riscaldatore di supporto per sistema criogenico