Riscaldatore per essiccazione di wafer dei sensori MEMS

Fri, 17 Jul 2026 06:08:17 +0800

Come asciugare le wafer MEMS senza problemi
Quando si tratta di asciugare le wafer dei sensori MEMS, è necessario trovare un equilibrio preciso tra calore e temperatura. È importante utilizzare abbastanza calore per completare il processo, ma questo calore deve essere distribuito in modo uniforme su tutta la superficie della wafer. Se rimane un po’ di umidità, oppure se il calore non viene distribuito in modo uniforme, si rischia che la membrana del sensore si danneggi. È una situazione davvero spiacevole, che nessuno vuole affrontare.

MEMS on Infrared Heat Limited

Riscaldatore per essiccazione di wafer dei sensori MEMS