はじめに 半導体ウェハを扱う際には、何があっても手を抜くことはできません。汚染の防止や正確な温度管理は、単に望ましいだけではなく、絶対に必要なことです。 では、実際の問題は何でしょうか？つまり、供給されるエネルギーがすべて、必要な場所で有効な熱に変換されるようにするにはどうすればよいのでしょうか？...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる「加熱工程」ではない。寸法管理そのものである。 ソフトベークやハードベークの温度をわずか2℃変えるだけでCD（クリティカルディメンション）は目標から外れ、ラインは停止する。そのため、我々はファブの要求する厳密な管理でプロセス温度を維持できるオーブ...