http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E3%82%AD%E3%83%A4%E3%83%8E%E3%83%B3/ Recent content in キヤノン on Infrared Heat Limited Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="キヤノンのリソグラフィ用ヒーターバルブ"></p> <p>ファブ内では、ソフトベイクは単なる「ウォームアップ」ではありません。それは、線幅を制御するための重要な条件なのです。<a href="https://henruite.com">温度</a>を0.5°C変えるだけで、ドーズウィンドウが変わってしまいます。ウェハ上のホットスポットがあると、エッチングの過程で欠陥が生じてしまいます。キヤノンのリソグラフィ用ヒーターは、シフトごとにその熱的条件を安定させるように設計されています。</p> <p><strong>重要な点</strong> 私たちは、石英製のケースの中に短波長のハロゲン素子を使用しています。これにより、迅速な応答性、低い熱慣性、そして安定した出力が得られます。ベイクプレート全体でのウェハ間の均一性は±0.1°C以内に抑えられているため、すべての領域が適切な温度条件下にあります。これらのヒーターは、標準的なキヤノンのリソグラフィ装置向けに設計されており、既存のランプハウジングにそのまま取り付けることができます。また、クラス1～100の条件下では粒子が発生しないため、長時間のベイクでも粒子数は一定に保たれます。実際の運用では、24時間365日安定した動作が保証され、5,000時間以上の使用にも耐えられます。また、寿命が予測可能なため、メンテナンスを計画的に行うことができます。</p>