http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E3%82%B5%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%83%88/ Recent content in サポート on Infrared Heat Limited Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="低温システムサポートヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、超冷却プロセスウィンドウに対して、ドリフトしない熱的サポートが必要です。サポートヒーターがスリップすると、フォトレジストプロファイルの崩壊、CDの変動、誰もが望まない計画外のツールダウンタイムのリスクがあります。私たちは、先進的なウェーハ処理の熱的管理のために、安定した均一な熱を提供する超冷却システムサポートヒーターを開発しました。ここでは、誤差の余裕がナノメートル単位で測定されます。</p>