http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in システム on Infrared Heat Limited Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:50 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="低温システムサポートヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、超冷却プロセスウィンドウに対して、ドリフトしない熱的サポートが必要です。サポートヒーターがスリップすると、フォトレジストプロファイルの崩壊、CDの変動、誰もが望まない計画外のツールダウンタイムのリスクがあります。私たちは、先進的なウェーハ処理の熱的管理のために、安定した均一な熱を提供する超冷却システムサポートヒーターを開発しました。ここでは、誤差の余裕がナノメートル単位で測定されます。</p> http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ Sun, 31 May 2026 04:37:23 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="産業用ウェーハ乾燥システムヒーター"></p> <p>ウェハーは最終すすぎ工程を通過し、時計が動き始める。乾燥サイクルが躊躇すると、ウォーターマーク、パターン崩壊、そして露光・焼成後数時間経ってから現れるフォトレジスト欠陥を賭けることになる。この時点で歩留まりは既に失われている。大量生産ファブにおいて乾燥は受動的な工程ではなく、制御された熱イベントであり、乾燥モジュール内のヒーターがプロセスの再現性を左右する。</p>