センサー on Infrared Heat Limited

ウェーハツール用温度センサー

Wed, 22 Jul 2026 04:32:52 +0800

ヒーター要素がウェーハを台無しにするのをやめましょう。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。たった一つの微小な粒子がウェーハに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。
問題の原因は通常、ヒーター要素です。一般的なランプでは、最も清潔であるべき時にガスが放出されたり、微小な破片が出てきたりします。そこで私たちは、IRランプに高純度の合成石英を使用することでこの問題を解決しました。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800

なぜ、鉛フリーチップの加工に赤外線加熱を採用するのか
半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンから脱却しつつあります。私たちの多くが赤外線加熱に切り替えているのです。これは単に「環境に優しい」とか「鉛フリー」であるという規制に従うためだけではありません。実際には、熱の作用原理が異なるからです。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 06:08:09 +0800

MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際には、微妙なバランスが求められます。作業を行うためには十分な熱が必要ですが、その熱は均一に分布していなければなりません。もしわずかな水分が残ったり、熱が不均一に作用したりすると、センサーの薄膜が破損したり、粘着してしまったりします。これは誰も望まない状況です。

そのため、私たちは高精度な温度制御ができるヒーターを開発しています。迅速に温度を上昇させつつ、ウエハ全体で均一な温度を維持することに力を入れています。

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Tue, 14 Jul 2026 10:56:53 +0800

スマートIRを活用したチップパッケージングにおける炭素削減
半導体の製造には多くのエネルギーが必要です。センサーパッケージングの硬化や乾燥工程を見てみると、昔ながらの対流式オーブンが使われており、巨大な金属箱に熱を送り込んでいるだけです。そのエネルギーのほとんどは部品には届かず、部屋全体を温めるだけです。

水素センサー製造用ヒーター

Sat, 11 Jul 2026 08:36:49 +0800

ガラスの破片を防ぐ：水素センサーを清潔に保つ方法

水素センサーの製造に携わったことがある人なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。
高負荷の状態で作業している最中に、石英ランプが壊れてしまいます。単に電球が切れるだけではありません。それは大惨事です。ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎ、結果として全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。
これは本当に深刻な故障です。

なぜランプが壊れるのか
実は、これらの高出力のIRランプは極端な高温環境に置かれています。フィラメントと石英ケースの間の温度差が大きくなりすぎると、熱衝撃が発生します。このような状況が繰り返されると、微細なひび割れが生じます。一度その真空封止が破れてしまうと、フィラメントは瞬時に焼き切れ、ランプ自体も壊れてしまいます。