http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9/ Recent content in デバイス on Infrared Heat Limited Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="マイクロ流体デバイス製造用ランプ"></p> <p>ウェハー上では、マイクロ流体チャネルのおかげで、フォトレジストの形状が変化する余地がありません。ソフトベイクの場合、わずか1度の温度変動だけで線幅が変わってしまいます。一方、ハードベイクの場合は、残留物が発生し、それが後にマイクロチャネルを塞ぐ原因となります。したがって、熱条件を単なる推定値ではなく、実際のプロセスパラメーターとして扱えるランプが必要です。</p>