ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

Sun, 05 Jul 2026 11:45:07 +0800

半導体用スペアパーツのコスト障壁を打ち破る
ご存知の通り、ASML製のランプが寿命を迎えると、生産ライン全体が停止してしまいます。そしてOEMから見積もりをもらうと、心配になりますよね。
みんなが疑問に思っているのは、国産の赤外線加熱ランプで本当にその役割を果たせるのか、ということです。機械の精密な温度バランスを崩さずに。
実際の答えは、単にスペースに収まるかどうかではありません。物理的な条件を満たすことが重要です。私たちのランプは、元のランプが入る場所にぴったりと収まるように設計されています。つまり、ダウンタイムなしで再び生産を再開できるのです。

キヤノンのリソグラフィ用ヒーターバルブ

Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800

ファブ内では、ソフトベイクは単なる「ウォームアップ」ではありません。それは、線幅を制御するための重要な条件なのです。温度を0.5°C変えるだけで、ドーズウィンドウが変わってしまいます。ウェハ上のホットスポットがあると、エッチングの過程で欠陥が生じてしまいます。キヤノンのリソグラフィ用ヒーターは、シフトごとにその熱的条件を安定させるように設計されています。

重要な点 私たちは、石英製のケースの中に短波長のハロゲン素子を使用しています。これにより、迅速な応答性、低い熱慣性、そして安定した出力が得られます。ベイクプレート全体でのウェハ間の均一性は±0.1°C以内に抑えられているため、すべての領域が適切な温度条件下にあります。これらのヒーターは、標準的なキヤノンのリソグラフィ装置向けに設計されており、既存のランプハウジングにそのまま取り付けることができます。また、クラス1～100の条件下では粒子が発生しないため、長時間のベイクでも粒子数は一定に保たれます。実際の運用では、24時間365日安定した動作が保証され、5,000時間以上の使用にも耐えられます。また、寿命が予測可能なため、メンテナンスを計画的に行うことができます。

リソグラフィー on Infrared Heat Limited

ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

キヤノンのリソグラフィ用ヒーターバルブ