http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E4%B8%AD/ Recent content in 中 on Infrared Heat Limited Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:25:24 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 25 Jun 2026 04:25:24 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェハ用中波赤外線ヒーター"></p> <p>300mmラインでは、焼成温度が0.5°C変動するだけで、回路の寸法に影響が出てしまいます。また、粒子の発生があると、一括して製品が不良になってしまいます。中波赤外線ヒーターを使えば、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の不安定さを解消できます。これらの工程では、フォトレジストの特性を安定させ、再現性を最優先しなければなりません。</p>