http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/%E5%86%85%E9%96%A3/ Recent content in 内閣 on Infrared Heat Limited Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:14:58 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ Mon, 22 Jun 2026 23:14:58 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブ化学キャビネットヒーター"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は選択肢ではなく、必須の工程です。±0.5℃の<a href="https://henruite.com">温度</a>変動だけで重要な寸法が変わってしまい、たった一つの粒子でもウェーハを破壊してしまう可能性があります。化学薬品を保管するキャビネットのヒーターは、試薬の温度を安定かつ再現可能に保つ必要があり、同時に汚染源になってはいけません。もし温度管理が崩れると、時間だけが無駄になるだけでなく、歩留まりも低下してしまいます。</p> <p><strong>内部で何が重要か</strong> 私たちは、制御可能な赤外線素子と、低質量でクリーンルームに適した熱管理方式を用いて、このキャビネット用ヒーターを開発しました。キャビネット内<a href="https://o-yate.com">全体</a>で、ウェーハ全体の温度が±0.1℃以内に抑えられるようになっており、その結果、すべてのウェーハが同じ熱条件を受けることになります。また、粒子の発生もないため、クラス1～100のクリーンルーム内でも問題ありません。<a href="https://goldisgood.com">再現性</a>も高く、ドアの開閉や電源の不安定さ、長時間の稼働後でも設定値が維持されます。</p>