金製反射器付き赤外線ランプ

Tue, 28 Jul 2026 04:54:15 +0800

なぜIR硬化に金製の反射板を使用するのか
半導体業界では、鉛を含まない、環境に優しい製品の開発が進められています。理論上は素晴らしそうですが、実際の製造現場では大変な問題があります。
一般的な対流式オーブンでは不十分です。部品に触れる前に、空気を加熱するのに多くの時間がかかります。これはエネルギーの無駄遣いであり、正直、ウェーハが汚染される原因にもなり得ます。
だからこそ、私たちは赤外線ランプと金製の反射板を使用するのです。

キヤノンのリソグラフィ用ヒーターバルブ

Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800

ファブ内では、ソフトベイクは単なる「ウォームアップ」ではありません。それは、線幅を制御するための重要な条件なのです。温度を0.5°C変えるだけで、ドーズウィンドウが変わってしまいます。ウェハ上のホットスポットがあると、エッチングの過程で欠陥が生じてしまいます。キヤノンのリソグラフィ用ヒーターは、シフトごとにその熱的条件を安定させるように設計されています。

重要な点 私たちは、石英製のケースの中に短波長のハロゲン素子を使用しています。これにより、迅速な応答性、低い熱慣性、そして安定した出力が得られます。ベイクプレート全体でのウェハ間の均一性は±0.1°C以内に抑えられているため、すべての領域が適切な温度条件下にあります。これらのヒーターは、標準的なキヤノンのリソグラフィ装置向けに設計されており、既存のランプハウジングにそのまま取り付けることができます。また、クラス1～100の条件下では粒子が発生しないため、長時間のベイクでも粒子数は一定に保たれます。実際の運用では、24時間365日安定した動作が保証され、5,000時間以上の使用にも耐えられます。また、寿命が予測可能なため、メンテナンスを計画的に行うことができます。

球根 on Infrared Heat Limited

金製反射器付き赤外線ランプ

キヤノンのリソグラフィ用ヒーターバルブ