http://ir-heat-ltd.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Infrared Heat Limited Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 04:32:52 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 22 Jul 2026 04:32:52 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <p>ヒーター要素がウェーハを台無しにするのをやめましょう。<br> クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。たった一つの微小な粒子がウェーハに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。<br> 問題の原因は通常、ヒーター要素です。一般的なランプでは、最も清潔であるべき時にガスが放出されたり、微小な破片が出てきたりします。そこで私たちは、IRランプに高純度の合成石英を<a href="https://henruite.com">使用</a>することでこの問題を解決しました。</p>