http://ir-heat-ltd.com/ko/tags/%EB%A6%AC%EC%86%8C%EA%B7%B8%EB%9E%98%ED%94%BC/ Recent content in 리소그래피 on Infrared Heat Limited Hugo ko Sun, 05 Jul 2026 11:45:07 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Sun, 05 Jul 2026 11:45:07 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ASML 리소그래피 램프 부품"></p> <p>반도체 부품의 비용 장벽을 극복하는 방법<br> 우리는 잘 알고 있습니다. ASML사에서 만든 램프가 고장나면, 온라인 생산이 마비됩니다. 그러고 나서 OEM으로부터 견적을 받으면, 정말 절망스러워집니다.<br> 모두가 궁금해하는 것은, 과연 국내에서 생산된 적외선 가열 램프가 그 역할을 대신할 수 있을까 하는 것입니다. 기계의 섬세한 열 균형을 해치지 않으면서 말입니다.<br> 실제 답은 이렇습니다. 단순히 공간에 맞게 설치하는 것이 아니라, 물리적 조건을 정확히 맞추는 것이 중요합니다. 저희의 램프는 원래 램프가 있던 자리에 바로 설치될 수 있도록 설계되었습니다. 목표는 바로 다시 생산을 재개하는 것입니다.</p> http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="캐논 리소그래피 히터 전구"></p> <p>팹에서의 소프트 베이크는 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 조건입니다. 온도를 0.5°C만 변경해도 드로즈 윈도우가 변합니다. 웨이퍼 표면의 특정 부분에 열이 집중되면, 그 부분에 결함이 생겨 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니다. 캐논의 리소그래피용 히터는 이러한 열적 조건을 일정하게 유지하여, 한 번의 작업에서 다음 작업으로 넘어갈 때도 안정적인 성능을 유지하도록 설계되었습니다.</p>