http://ir-heat-ltd.com/ko/tags/%EB%B2%A0%EC%9D%B4%ED%82%B9/ Recent content in 베이킹 on Infrared Heat Limited Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 04:39:40 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:39:40 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="포토레지스트 건조 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 포토레지스트를 처리할 때의 온도 프로파일은 결코 타협할 수 없는 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 변동하면 용매가 비정상적으로 증발합니다. 하드 베이크 과정에서 발생하는 과열 현상도 문제가 되며, 이로 인해 치명적인 크기 오차가 생깁니다. 이러한 문제들은 생산성과 처리 시간에 부정적인 영향을 미칩니다. 저희는 웨이퍼 전체에 걸쳐 소프트 베이크부터 하드 베이크까지 일관된 온도를 유지할 수 있도록 특별히 설계된 포토레지스트 가열 장치를 개발했습니다.</p>