서론 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 어떤 방법으로든 소홀함이 있어서는 안 됩니다. 오염 제어와 정밀한 온도 조절은 단순히 바람직한 것이 아니라 반드시 이루어져야 하는 필수적인 요소입니다. 그렇다면 진짜 문제는 무엇일까요? 공급되는 모든 에너지가 정확하게 필요한 곳에서 열...

Role 팹 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 “가열 단계”가 아니다. 그것은 치수 제어, 명확하고 단순한 문제다. 소프트 베이크나 하드 베이크 온도를 단 2°C만 올려도 CD 목표에서 벗어난다. 라인이 멈춘다. 그래서 우리는 팹이 실제로 요구하는 수준의 엄격함...