웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

Wed, 22 Jul 2026 04:32:53 +0800

열원이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자라도 웨이퍼 위에 떨어지면, 생산 효율이 급격히 떨어집니다.
문제는 대체로 열원에 있습니다. 일반적인 램프들은 가장 깨끗해야 할 순간에 가스를 방출하거나 작은 이물질들을 내놓습니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용하기로 결정했습니다.

고정밀 온도 히터

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

리소그래피 공정에서 90°C의 온도로 부드럽게 가열하는 것은 단순히 설정값에 불과한 것이 아닙니다. 이는 형태를 유지할 수 있는 포토레지스트와 폐기될 웨이퍼 사이의 경계선과 같습니다.
칩 홀더의 온도가 0.5°C만 변해도 CD의 균일성이 저하되고, 선의 굵기 제어도 정상 범위를 벗어나게 됩니다. 이 산업에서 온도란 단순한 열의 문제가 아니라, 반복적으로 일정한 범위 내에 유지되어야 하는 중요한 공정 변수입니다.
핵심은 바로 여기에 있습니다.
우리는 고정밀 히터를 사용하여 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지합니다. 이를 통해 일관된 접착력과 에칭 선택성을 확보할 수 있습니다. 이 하드웨어는 클린룸 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었으며, 온도 변화로 인한 문제가 발생하지 않도록 만들어졌습니다.
또한, 빠르게 반응하는 단파 적외선 소자를 사용하여 가열 과정을 철저히 제어합니다. 그 결과, 고온 구역이 분리되어 챔버가 가스나 오염물질로부터 보호됩니다.
생산 과정에서 이러한 정밀도 덕분에 문제가 줄어들고, 낭비도 줄어듭니다. 사이클 타임도 예측 가능해집니다. 부드러운 가열, 강력한 가열, 그리고 가열 후 처리 과정도 안정적으로 이루어져, 노드가 점점 작아지는 상황에서도 문제가 없습니다. 그 결과, 실제 수율이 향상되고 재작업도 크게 줄어듭니다.
에너지 사용량도 줄어듭니다. 왜냐하면 효율적인 가열 방식과 과열을 최소화하는 설계 덕분입니다. 이 시스템은 24/7 가동이 가능하므로, 계획되지 않은 정지 시간도 거의 없습니다.
사전에 고려해야 할 몇 가지 사항이 있습니다.
이러한 히터들은 잘 통합될 수 있지만, 명시된 균일성을 달성하기 위해서는 안정적인 전원 공급과 적절한 열 용량을 가진 칩 홀더가 필요합니다. PID 설정을 조정하기 위해 짧은 시간 동안 테스트를 진행해야 하며, EMI가 민감한 측정 구역에 영향을 주지 않도록 접지와 차폐를 철저히 확인해야 합니다.
일단 정렬이 제대로 되면, 공정이 원활하게 진행되고, 온도 변화로 인한 문제도 없어집니다.

온도 on Infrared Heat Limited

웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

고정밀 온도 히터