http://ir-heat-ltd.com/ko/tags/%EC%9E%A5%EC%B9%98/ Recent content in 장치 on Infrared Heat Limited Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="마이크로유체 장치 제작용 램프"></p> <p>웨이퍼 처리 과정에서는 마이크로유체 채널들이 포토레지스트의 형상 변화를 방지해줍니다. 소프트 베이크 과정에서조차도 약간의 온도 변동만으로도 선의 폭이 변하게 됩니다. 하드 베이크 과정에서는 잔여물이 남아서 나중에 마이크로채널을 막을 수 있습니다. 따라서 열적 요소를 단순한 추측이 아닌 실제 공정 파라미터로 다룰 수 있는 램프가 필요합니다.</p>